1075

내 화학성 & 마이크로웨이브 플라즈마 공정 Resistance to chemicals with Microwave Etching and medium density CVD plasma process

NANOPURE ® 1075 Feature

나노퓨어 ® 1075는 범용 & 저가형으로 개발되어진 제품으로 우수한 CF4,O2플라즈마 저항성과 함께 경제적인 가격의 제품이다. 케미칼 및 마이크로웨이브 에칭 및 미디움 덴시티 플라즈마 CVD공정에 적합하다.

NANOPURE® #1075 which Popular and economy Version with combined CF4,O2 plasma resistance and Resistance to chemicals. *Application of semiconductor (Microwave etching plasma and medium density CVD processing)  

Typical Physical Propertise
Color White
Polymer Type Perfluoroelastomer
Specific Gravity 2.02
Hardness (Shore A) 78
Tensile Strength (Mpa) 18.0
Elongation (%) 160
Modulus 100% (Mpa) 12.0
Compression Set(%) 70hrs @ 200℃ 15
Service Temperature Range -20℃ to 250℃


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