나노퓨어®9080A 과불화탄성체는 고밀도 플라즈마 화학 증착 공정과 함께 NF3리모트 플라즈마 시스템에 대응이 가능하게끔 개발되어졌으며 우수한 내화학성과 뛰어난 영구압축 복원률을 가지고 있어 구동부위의 씰링 콤파운드 로 적합한제품이다.


9080A제품은 새로운 과불화탄성체로서 300℃의 고온에서도 연속적으로 사용이 가능하다.
*적용처 :본디드 슬릿밸브,CVD VAT밸브 수리

NANOPURE® 9080A perfluoroelastomer was developed specifically for high Density plasma CVD systems with RPS (Remote Plasma system).The chemical compatibility of this Compound is excellent and Low Compression set. 9080A is M&EE Co.,Ltd “ cleanest” Perfluoroelastomer to date ; it remains Stable at temperature as high as 300℃

Application area : Bonded slit valve and VAT valve repair
Typical Physical Propertise
Color White
Polymer Type Perfluoroelastomer
Specific Gravity 2.02
Hardness (Shore A) 75
Tensile Strength (Mpa) 15.0
Elongation (%) 220
Modulus 100% (Mpa) 8.2
Compression Set(%) 70hrs @ 200℃ 15
Service Temperature Range -20℃ to 300℃

Condition of Plasma Resistance Test

Contents Gas Flow (sccm) RF Power (W) Pressure(mT) Time (min) Temp. (℃)
NF3 200 1200 200 60 200
O2 200 1200 400 60 200
CF4 200 1200 200 60 200
SF6 200 1200 200 60 200

Weight Loss Ratio after Plasma Resistance Test


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