EAO75

VITON군 에서 높은 온도 보상

For Semiconduct PECVD and HDPCVD Processes

NANOPURE® EAO-75는 기존 FKM의 내열성과 내마모성을 대폭 향상시킨 제품입니다.
NANOPURE® EAO-75는 특히 기계적 데미지에 의한 낮은 식각율로 파티클 발생으로 인한 문제를 최소화하기 위하여 설계되었습니다.
또한 우수한 영구압축복원율과 뛰어난 기계적 특성으로 씰의 수명을 연장시켜 높은 공정수율을 제공합니다. NANOPURE® EAO-75는 최대 280℃에서 사용 가능합니다.

Features & Benefit

  • Excellent abrasion resistance
  • Minimal contamination due to seal degradation or metallic ion content
  • Extends in-use seal life between preventive maintenance cycles
  • Excellent physical properties
  • Low compression set

Suggested Applications

  • Endpoint windows
  • Valve seals
  • Fitting seals
  • Windows seals
  • Lid seals
  • Gas inlet seals
  • Slit valve seals
  • Chamber seals

Typical Physical Properties

Color Black
Polymer Type Perfluoroelastomer
Hardness1), Shore A 75
Tensile Strength at Break2), MPa 16.4
Elongation at Break3), % 155
100% Modulus4), MPa 9.1
Compression Set5), %
70 hours @ 204℃ 11
70 hours @ 250℃  
70 hours @ 300℃  
70 hours @ 325℃  
Maximum Continuous Service,
Temperature, ℃
280
  1. ASTM D1415 (ISO 48)
  2. ASTM D412 (ISO 37)
  3. ASTM D412 (ISO 37)
  4. ASTM D412 (ISO 37)
  5. ASTM D395 Method B ; (ISO 815)

추천 사용 공정

CVD 및 높은 내열을 요구하는 공정



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