EAO75S

VITON 군 중에서 내 플라즈마 및 높은 마찰 저항력

For Semiconduct PECVD and HDPCVD Processes

NANOPURE ® EAO-75S는 기존 FKM의 내마모성과 내화학성을 대폭 향상시킨 제품입니다.
NANOPURE ® EAO-75S는 특히 뛰어난 내마모성으로 인해 기계적 데미지에 의한 문제를 최소화하여 씰의 수명을 연장시켜 높은 공정수율을 제공합니다. 또한 우수한 영구압축복원율과 저플라즈마 환경에서의 우수한 저항성을 지닌 제품입니다.
NANOPURE ® EAO-75S는 최대 260℃에서 사용 가능합니다.

Features & Benefit

  • Excellent abrasion resistance
  • Minimal contamination due to seal degradation or metallic ion content
  • Extends in-use seal life between preventive maintenance cycles
  • Excellent physical properties
  • Low compression set

Suggested Applications

  • Endpoint windows
  • Valve seals
  • Fitting seals
  • Windows seals
  • Lid seals
  • Gas inlet seals
  • Slit valve seals
  • Chamber seals

Typical Physical Properties

Color Black
Polymer Type Perfluoroelastomer
Hardness1), Shore A 74
Tensile Strength at Break2), MPa 21.6
Elongation at Break3), % 230
100% Modulus4), MPa 5.4
Compression Set5), %
70 hours @ 204℃ 16
70 hours @ 250℃  
70 hours @ 300℃  
70 hours @ 325℃  
Maximum Continuous Service,
Temperature, ℃
260
  1. ASTM D1415 (ISO 48)
  2. ASTM D412 (ISO 37)
  3. ASTM D412 (ISO 37)
  4. ASTM D412 (ISO 37)
  5. ASTM D395 Method B ; (ISO 815)

추천 사용 공정

SPUTTER 등 구동 및 마찰에 대한 저항이 필요한 공정



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