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Produces vital parts of semiconductor equipments

NANOPURE CMP

Rolling Seal
  • 是CMP工程的HEAD上安装的产品,在RETAINER RING的驱动与POLISHING工程中的
    研磨PAD与WAFER的晃动上,起到将HEAD稳定化的作用。
  • 同时起到SEAL作用与驱动作用,是本社以单一品目、单一材质制造最多的产品。
  • Rolling Seal 断面

  • Rolling Seal 安装 部位

同时起到SEAL?
  • Wafer seal是用于为了将wafer进行电化学处理所使用的NOVELLUS EP设备上.
  • 使用Wafer seal,是为了防止任意液体进入将Wafer放入电镀溶液(CUSO4),
    变为Spinning时会发生的Edge部分接触面上.
  • Wafer Seal

  • Wafer Seal 扩大