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Produces vital parts of semiconductor equipments

NANOPURE GROOVE CLEANER

当前工作方法

  • 清洁O-ring groove时,无专用的cleaner或jig
  • 一般使用Screw driver或Wrench,如左侧照片所示进行清洁。
问题点
    • Screw driver和Wrench导致Groove表面产生Scratch
    • → Chamber leak
    • Groove内部side部位等的污染物不易清除
      (即使用Air Clean也无法清除Grease上的污染物)
    • → Particle诱发

Solution – NANOPURE GROOVE CLEANER

使用O-ring groove专用Cleaner进行清洁,确保无Scratch和污染物残留

  • Cleanroom dust free double x-x-x-layer polyester
  • 含有乙醇,清洁前无需做其他准备工作
  • 持久耐用
  • 不使用粘合剂或结合剂,无二次污染物
  • 柔软、非磨损性地清洁敏感的表面
  • 按照O-ring尺寸区分,符合Groove size
  • Clean时,把Groove内的污染物附着在表面
O-ring 规格, NANOPURE GROOVE CLEANER head size, NANOPURE GROOVE CLEANER handle size, Groove size
O-ring 规格 NANOPURE GROOVE CLEANER head size NANOPURE GROOVE CLEANER handle size Groove size
AS568-1XX B:2.4mm
Thicknvess:2mm
A:80mm
C:2mm
AS568-2XX B:3.3mm
Thickness:3mm
A:80mm
C:2mm
AS568-3XX B:4.8mm
Thickness:3.5mm
A:150mm
C:3mm
AS568-4XX B:6.3mm
Thickness:4mm
A:150mm
C:3mm
  • 1
  • 2
  • 3
  • 1

    使用不同O-ring size专用的Cleaner / 可双侧(Double head)、双面使用

  • 2

    Cleaner head部分含有乙醇

  • 3

    可组成专用铝制密封独立包装(Dust free)Set