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Produces vital parts of semiconductor equipments

NANOPURE FKM O-RINGS

NANOPURE® 9023SP

A high fluorine fluoroelastomer with enhanced chemical resistance

NANOPURE® 9023SP는 반도체 및 디스플레이 산업의 가혹한 공정에서 사용하기 위해
높은 불소함량의 고성능 소재로 개발되었습니다.

NANOPURE® 9023SP는 고반응성 가스 및 가혹한 플라즈마 환경에서 낮은 식각률로
파티클 발생으로 인한 문제를 최소화하기 위하여 설계되었습니다.
또한 우수한 영구압축복원율과 뛰어난 기계적 특성으로 씰의 수명을 연장시켜
높은 공정수율을 제공합니다.

NANOPURE® 9023SP이 제공하는 탁월한 순도, 내플라즈마성 및 내화학성은
비용상의 이점을 제공하면서 최고의 성능을 지닙니다.

NANOPURE® 9023SP
Features & Benefit
  • Outstanding chemical resistance to a wide range of media
  • Low compression set properties
  • High sealing efficiency
  • Cost effective high performance fluoroelastomer
Suggested Applications
  • Slit Valve seals
  • Static & Dynamic seals
  • Check Valves
  • Pumps & Valves
Typical Physical Properties
Typical Physical Properties
Polymer Type Tetrapolymer(HPE)
Hardness1), Shore A 73
Tensile Strength at Break2), MPa 22.5
Elongation at Break3), % 226
100% Modulus4), MPa 4.7
Compression Set5), %
70 hours @ 204℃		 17.9
Maximum Continuous Service,
Temperature, ℃		 250
  • 1) ASTM D1415 (ISO 48)
  • 2) ASTM D412 (ISO 37)
  • 3) ASTM D412 (ISO 37)
  • 4) ASTM D412 (ISO 37)
  • 5) ASTM D395 Method B ; (ISO 815)
NANOPURE ® EAO75S

For Minimal Contamination in Semiconductor / LCD Processes

NANOPURE ® EAO75S는 기존 FKM의 내마모성과 내화학성을 대폭 향상시킨 제품입니다.

NANOPURE ® EAO75S는 특히 뛰어난 내마모성으로 인해 기계적 데미지에 의한 문제를
최소화하여 씰의 수명을 연장시켜 높은 공정수율을 제공합니다.
또한 우수한 영구압축복원율과 저플라즈마 환경에서의 우수한 저항성을 지닌 제품입니다.

NANOPURE ® EAO75S는 최대 260℃에서 사용 가능합니다.

NANOPURE ® EAO75S
Features & Benefit
  • Excellent abrasion resistance
  • Minimal contamination due to seal degradation or metallic ion content
  • Extends in-use seal life between preventive maintenance cycles
  • Excellent physical properties
  • Low compression set
Suggested Applications
  • Endpoint windows
  • Lid seals
  • Valve seals
  • Gas inlet seals
  • Fitting seals
  • Slit valve seals
  • Windows seals
  • Chamber seals
Abrasion Test Result

  • NANOPURE® EAO75S

  • FKM A

  • FKM B

Surface after Abrasion Test (Microscope x 50)

Typical Physical Properties
Typical Physical Properties
Color Black
Polymer Type Fluoroelastomer
Hardness1), Shore A 74
Tensile Strength at Break2), MPa 21.6
Elongation at Break3), % 230
100% Modulus4), MPa 5.4
Compression Set5), %
70 hours @ 204℃		 16
Maximum Continuous Service,
Temperature, ℃		 260
  • 1) ASTM D1415 (ISO 48)
  • 2) ASTM D412 (ISO 37)
  • 3) ASTM D412 (ISO 37)
  • 4) ASTM D412 (ISO 37)
  • 5) ASTM D395 Method B ; (ISO 815)