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Produces vital parts of semiconductor equipments

NANOPURE BLADES

Valve Blade & Load Lock
  • 반도체 제조는 다양한 진공 장비에서 공정이 이루어 지며, 진공조건의 Chamber간에는 INNER DOOR를 통해 Wafer가 이동하게 됩니다.
    이동 후 각 장비별, 공정별 Process Chamber환경에 따라 Valve Blade Compound 재질이 결정됩니다.
  • Valve Blade에는 크게 BSV(Bonded Slit Valve) Type과 VAT(화사명) Type 2가지로 나뉘어 지며, 각 설비 제조사 별로 여러가지 종류가 있으며,
    당사에서는 약 20여종의 Valve Blade를 제조하고 있습니다.   
  • BSV type(Rocker V/V Blade)

  • VAT type(12” Large VAT, 300mm Load Lock)