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MNE
Produces vital parts of semiconductor equipments

NANOPURE CMP

Rolling Seal
  • CMP 공정의 Head에 장착되는 제품으로 Retainer Ring의 구동과 Polishing 공정중의
    연마 Pad와 Wafer의 흔들림에 Head를 안정화 시키는 역할을 합니다.
  • Seal 역할과 구동역할을 동시에 하게 되며, 당사에서 단일 품목, 단일 재질로 가장 많이
    제조되는 제품입니다. 
  • Rolling Seal 단면

  • Rolling Seal 장착 부위

Wafer Seal 이란?
  • Wafer Seal은 Wafer를 전기화학적으로 처리하기 위해 사용되는 NOVELLUS EP장비에
    장착이 됩니다.
  • Wafer Seal은 장착이 되어 전기도금 용액(CuSO4)에 Wafer가 담겨 Spinning 될 때 발생할
    수 있는 Edge 부분 접촉면에 임의의 액체가 들어가는 것을 방지 하기 위해 사용됩니다.
  • Wafer Seal

  • Wafer Seal 확대