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Produces vital parts of semiconductor equipments

NANOPURE GROOVE CLEANER

현 작업방법

  • O-ring groove clean시 전용 Cleaner 또는 Jig가 없음
  • Screw driver 또는 Wrench를 이용하여 왼쪽 사진처럼
    Clean 하는게 일반적임
문제점
    • Screw driver및 Wrench에 의한 Groove 표면 Scratch 발생
    • → Chamber leak
    • Groove 내부 side부위 등 오염물질이 잘 제거 안되고 남음
      (Grease의 경우 Air clean해도 날아가지 않고 남아있음)
    • → Particle 유발

Solution – NANOPURE GROOVE CLEANER

O-ring groove용 전용 Cleaner를 사용하여 Scratch및 잔여 오염물 없이 Clean

  • Cleanroom dust free double x-layer polyester
  • 에탄올 함유로 다른 준비작업 없이 Cleaning 가능
  • 뛰어난 내구성 보유
  • 접착제나 결합제를 사용하지 않아 2차 오염물질 없음
  • 민감한 표면을 부드럽고 비 마모성으로 clean
  • O-ring 사이즈 별로 구분하여 Groove size에 맞춤
  • Clean시 Groove내 오염물질을 표면에 부착
O-ring 규격, NANOPURE GROOVE CLEANER head size, NANOPURE GROOVE CLEANER handle size, Groove size
O-ring 규격 NANOPURE GROOVE CLEANER head size NANOPURE GROOVE CLEANER handle size Groove size
AS568-1XX B:2.4mm
Thicknvess:2mm
A:80mm
C:2mm
AS568-2XX B:3.3mm
Thickness:3mm
A:80mm
C:2mm
AS568-3XX B:4.8mm
Thickness:3.5mm
A:150mm
C:3mm
AS568-4XX B:6.3mm
Thickness:4mm
A:150mm
C:3mm
  • 1
  • 2
  • 3
  • 1

    O-ring size별 전용 Cleaner사용 / 양쪽(Double head),양면 사용 가능

  • 2

    Cleaner head부분 에탄올 함유

  • 3

    전용 알루미늄 밀폐 개별 포장(Dust free) Set 구성 가능.