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For Semiconductor CVD Applications
NANOPURE® HX-8은 반도체 및 디스플레이 산업의 가혹한 공정에서 사용하기 위해 고성능 소재로 개발된 순수한 과불화탄성체입니다.
NANOPURE® HX-8은 플라즈마로 인한 높은 부식성 환경에서 낮은 식각율로 파티클 발생으로 인한 문제를 최소화하기 위하여 설계되었습니다. 또한 우수한 열적 특성과 물리적 강도를 제공하여, 정적 및 동적공정에 모두 적합합니다.
NANOPURE® HX-8은 최대 310℃에서 사용가능합니다.
< Conditions >
Color | Dark Auburn |
---|---|
Polymer Type | Perfluoro elastomer |
Hardness1), Shore A | 74 |
Tensile Strength at Break2), MPa | 11.0 |
Elongation at Break3), % | 250 |
100% Modulus4), MPa | 3.9 |
Compression Set5), % 70 hours @ 204℃ | 16 |
Compression Set5), % 70 hours @ 250℃ | 20 |
Compression Set5), % 70 hours @ 300℃ | 39 |
Compression Set5), % 70 hours @ 310℃ | 43 |
Maximum Continuous Service, Temperature, ℃ |
310 |