High temperature stability
Low erosion rate and particle
Generation in oxygen and fluorine
Plasmas
Almost universal chemical resistance
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다음 세대를 준비하는 미래 지향적 R&D연구 체계로 반도체 사업 및 장비, 장치 산업 전반에
광범위하게 적용 가능하고 성능이 우수한 소재, 부품등을 개발합니다.
High temperature stability
Low erosion rate and particle
Generation in oxygen and fluorine
Plasmas
Almost universal chemical resistance
Anti Explosive Decompression
Anti Rapid Gas Decompression
Low Friction and Self lubrictation
A scanning electron microscope (SEM)은
전자현미경의 일종으로 높은 에너지의 전자를 시료 표면에 충돌시켜
발생하는 이차전자 등을 검출하여 확대상을 촬영하는 장비입니다.
Energy-dispersive X-ray spectroscopy (EDS)는
시료의 성분이나 화학적 특징을 분석하기 위하여 사용하는 기법으로
시료 표면과 전자 beam 사이에 상호작용으로 방출되는 X선을 검출하여
각각 고유의 에너지 값을 가지는 화학성분을 정성, 정량적으로 분석합니다.
1) Example of SEM/EDS Analysis in FFKM
C | O | F | Si | Ti | ||
---|---|---|---|---|---|---|
Normal | 003 | 20.94 | 4.95 | 74.11 | ||
004 | 20.47 | 4.21 | 75.31 | |||
Aver | 20.71 | 4.58 | 74.71 | |||
Impurity | 012 | 19.00 | 9.07 | 64.34 | 3.10 | 4.48 |
013 | 19.87 | 5.70 | 70.64 | 1.64 | 2.16 | |
Aver | 19.44 | 7.39 | 67.49 | 2.37 | 3.32 |
TGA(Thermogravimetric analyser)는
시료를 가열하며 발생하는 무게의 변화를 측정하는 분석 장비입니다.
최종적으로 얻어진 온도 변화에 따른 무게 변화 자료를 바탕으로
시료의 열안정성이나 폴리머, 카본블랙의 함량 등을 측정할 수 있습니다.
1) Applications
Moving Die Rheometer(MDR)는
고무 컴파운드의 Curing 특성을 분석하는 데 사용하는 장비입니다.
특정 온도에서 고무 컴파운드에 가해지는 torque값을 측정하며
그 정도에 따라 고무의 Curing 특성을 파악할 수 있습니다.
Mooney Viscometer는
고무의 무늬점도(Mooney Viscosity)를 확인하는 데 사용하는 장비입니다.
Melvin Mooney가 발명한 이 장비는 spindle을 고무 시료로 감싸고
특정 온도에서 spindle을 회전시켜 이때 측정되는 torque값을 수치화합니다.