적용 역할

반도체 생산장비에 장착된 sealing 재질은 정밀한 부품이며 전형적으로 탄성물질로 주조되거나 플라스틱을 가지고 가공하여 만들어지며, 사용되어지는 장비나 부품 안에 fluid나 gas의 통로에 barrier를 형성하도록 설계되어 진다. Barrier나 sealing action은 sealing 표면에 매우 밀착하는 sealing 재질의 특성에 의하여 이루어진다. Sealing표면에 들러붙지 않고 주기적인 움직임이나 노화, 온도, 압력 chemical 노출 시 일정기간 동안 본연의 성능을 유지하여야 한다.