High temperature stability
Low erosion rate and particle
Generation in oxygen and fluorine
Plasmas
Almost universal chemical resistance
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是准备下一代的未来指向性R&D研究体系,在半导体事业及装备、装置产业整体上
开发适用范围广、性能优良的材料、配件等。
High temperature stability
Low erosion rate and particle
Generation in oxygen and fluorine
Plasmas
Almost universal chemical resistance
Anti Explosive Decompression
Anti Rapid Gas Decompression
Low Friction and Self lubrictation
A SCANNING ELECTRON MICROSCOPE (SEM)
一种电子显微镜,将高能量的电子撞击样品表面,
是检测产生的二次电子等,拍摄放大像的设备。
ENERGY-DISPERSIVE X-RAY SPECTROSCOPY (EDS)
为了分析样品的成分或化学特征而使用的方法
检测样品表面和电子BEAM之间相互作用而发射的X射线,
对各自具有独特能量值的化学成分进行定性定量分析。
1) Example of SEM/EDS Analysis in FFKM
C | O | F | Si | Ti | ||
---|---|---|---|---|---|---|
Normal | 003 | 20.94 | 4.95 | 74.11 | ||
004 | 20.47 | 4.21 | 75.31 | |||
Aver | 20.71 | 4.58 | 74.71 | |||
Impurity | 012 | 19.00 | 9.07 | 64.34 | 3.10 | 4.48 |
013 | 19.87 | 5.70 | 70.64 | 1.64 | 2.16 | |
Aver | 19.44 | 7.39 | 67.49 | 2.37 | 3.32 |
TGA(THERMOGRAVIMETRIC ANALYSER)
是测定样品加热过程中重量变化的分析仪器。
以最终得到的温度变化带来的重量变化资料为基础
可以测定样品的热稳定性或聚合物、炭黑的含量等。
1) Applications
MOVING DIE RHEOMETER(MDR)
用于分析橡胶复合物的CURING特性的仪器。
在特定温度下测定橡胶复合物的TORQUE值,
根据其程度可以掌握橡胶的CURING特性。
MOONEY VISCOMETER
用于检查橡胶纹理粘度(MOONEY VISCOSITY)的设备。
MELVIN MOONEY发明的该设备用橡胶样品包裹SPINDLE
通过在一定温度下旋转SPINDLE来数值此时测得的TORQUE值。