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技术研究所

组织构成

是准备下一代的未来指向性R&D研究体系，在半导体事业及装备、装置产业整体上
开发适用范围广、性能优良的材料、配件等。

제품소개
研究所
  • 아이콘 新技术开发
  • 先行研究
  • 新技术开发
  • 아이콘 产品设计
  • 模具设计
  • 加工技术开发
  • 아이콘 制造技术支援
  • 工程改善
  • 产品制作技术支援
  • 初始品制作
ROADMAP

Material Development

제품소개 그래프

SPECIAL
GRADE
开发战略

  • OIL &
    GAS APPLICATIONS
    ED (Explosive)
    RGD (Rapid Gas
    Decompression)
  • OIL & O-ring
    For Low Temp. Process
    LT Grade O – ring
    (工艺温度 : -60°C ~ -20°C)
    FFKM, FKM
  • Anti – Sticky
    O-ring
    对金属具有低粘附性的高温用 FFKM

新产
品开发方法

  • 推进政府研究事业
    政府研究课题执行中
    (2022年05月01日~
    2024年04月)
  • 合作企业共同开发
    3M研究所
  • 外部专家共同开发
    中央大学
    忠南大学
    无机填充剂、假类产品合成企业
适用领域

For Semiconductor
Display Industry

적용분야

High temperature stability

Low erosion rate and particle
Generation in oxygen and fluorine
Plasmas

Almost universal chemical resistance

  • SEM / EDS
  • TGA
  • MDR / MV
SEM/EDS

SEM/EDS

A SCANNING ELECTRON MICROSCOPE (SEM)
一种电子显微镜，将高能量的电子撞击样品表面，
是检测产生的二次电子等,拍摄放大像的设备。

ENERGY-DISPERSIVE X-RAY SPECTROSCOPY (EDS)
为了分析样品的成分或化学特征而使用的方法
检测样品表面和电子BEAM之间相互作用而发射的X射线，
对各自具有独特能量值的化学成分进行定性定量分析。

1) Example of SEM/EDS Analysis in FFKM

SEM/EDS
SEM/EDS
SEM/EDS
C O F Si Ti
Normal 003 20.94 4.95 74.11
004 20.47 4.21 75.31
Aver 20.71 4.58 74.71
Impurity 012 19.00 9.07 64.34 3.10 4.48
013 19.87 5.70 70.64 1.64 2.16
Aver 19.44 7.39 67.49 2.37 3.32
TGA

TGA

TGA(THERMOGRAVIMETRIC ANALYSER)
是测定样品加热过程中重量变化的分析仪器。
以最终得到的温度变化带来的重量变化资料为基础
可以测定样品的热稳定性或聚合物、炭黑的含量等。

1) Applications

  • Thermal stability
  • Oxidation and Combustion
  • Thermogravimetric kinetics
  • Equipment : TA instrument, TGA550
  • Condition : N2 → Air @ 600℃
    * Equilibrate 100℃ under N2 →
    Ramp 20℃/min to 400℃ →
    Ramp 10℃/min to 600℃
    * Change the gas to Air @ 600℃ →
    Ramp 10℃/min to 800℃
TGA
MDR / MV

MDR

MOVING DIE RHEOMETER(MDR)
用于分析橡胶复合物的CURING特性的仪器。
在特定温度下测定橡胶复合物的TORQUE值，
根据其程度可以掌握橡胶的CURING特性。

MDR

MV

MOONEY VISCOMETER
用于检查橡胶纹理粘度（MOONEY VISCOSITY）的设备。
MELVIN MOONEY发明的该设备用橡胶样品包裹SPINDLE
通过在一定温度下旋转SPINDLE来数值此时测得的TORQUE值。

MV